晶舟自动化传输盒(8吋)/晶舟传送盒/ SMIF Pod/Wafer SMIF Pod(8”)

SMIF Pod 晶舟自动化传送盒，自动化传送盒内放置晶舟(Cassette)，可固定晶圆片，确保200mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。尺寸皆符合SEMI规范，并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。
1、高洁净度承载，选配充气功能，耐高温耐磨耗材质
2、CHD三点定位接触设计，减少印痕

联系我们产品咨询

介绍

SMIF Pod 晶舟自动化传送盒，自动化传送盒内放置晶舟(Cassette)，可固定晶圆片，确保200mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。尺寸皆符合SEMI规范，并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。

规格

Product name

产品名称

晶舟自动化传输盒(8吋)/晶舟传送盒/ SMIF Pod/Wafer SMIF Pod(8”)

Material

组成材质

PC/PC ESD

Color

颜色

Original(Transparent) 本色(透明)